真空退火爐的工作原理：先將擴散泵上電預熱，爐料從料車進入爐體，關好爐門，然后用機械泵、羅茨泵進行預抽空，達到一定真空度后開啟擴散泵和高真空大閥，達到所需真空度后送電加熱。在此處經升溫、保溫過程完成爐料的退火處理；經冷卻后出爐，完成一個工作周期。工藝流程采用單向進出料，為半連續工作方式，料架、料車進入爐體，采用鏈傳動方式或推料車進行人工推拉。
通常真空退火爐由爐體(爐殼、爐門、爐膽、加熱器部分組成)一般在爐殼上裝有控溫偶、超溫報警偶、監控偶三大類型。工件車(在爐門前安裝導軌式工件車，工件車手動液壓升降。)、冷卻水系統、壓縮空氣系統、加熱電源系統、電氣控制系統等部分組成。由于有的大型退火爐采用風機和其它冷卻功能，相應的退火爐還具有較高的爐溫均勻性。
真空退火爐的選型指南：
1.真空熱處理爐安裝方式的選擇：可分為臥式及立式爐兩種，立式爐又分為上出料及下出料結構。選擇依據主要是處理的產品類型、形狀或擺放方式確定。
2.發熱組件的選擇：真空熱處理爐加熱元件向工件的傳熱方式和普通電加熱爐不同，以輻射傳熱為主。鎳鉻主要應用在溫度在1000℃以下的真空爐，高溫鉬應用在1600℃以下熱處理爐，石墨及石墨帶(板)可以應用在2300℃以下真空熱處理爐。發熱組件的選擇主要依據熱處理溫度、產品的物理及化學特性而確定。
3.隔熱屏的選擇：隔熱屏是真空燒結爐加熱室的主要組成部分，其主要作用是隔熱、保溫及減少熱損失，同時也是固定加熱器的結構基礎。因此，隔熱屏結構形式及材料的選擇，對真空爐的功率及性能(如真空度、放氣率等)有很大的影響。隔熱屏基本上分為金屬隔熱屏和非金屬隔熱屏兩類。其結構形式分為全金屬隔熱屏、夾層式隔熱屏、石墨氈隔熱屏和混合氈隔熱屏。隔熱屏的選擇主要依據溫度、產品的物理及化學特性和真空度要求而確定。
